巻取式蒸着技術

Vacuum Deposition

巻取式蒸着の基本型

基本的な蒸着機断面モデル

基本的な蒸着機断面モデル

巻取式蒸着は、包装材料としてのバリアフィルム形成や、電解コンデンサやフィルムコンデンサの電極材料の形成など幅広い用途があります。

図は最も基本的な蒸着機の断面構造を示しています。
巻き出しロールには基材として、プラスチックフィルムや金属箔などの広幅ロールが使用されています。
それをテンションをかけながらクーリンクロールに送り出します。
クーリングロールの内部には冷媒が循環し、常にフィルムを冷やす構造になっています。
クーリンロール下に蒸発源を配置し、蒸着する金属を過熱し、蒸発させます。
金属は、大気中では蒸発できないため、装置全体はタンクに収納され、全体を真空ポンプにより真空排気します。
真空度が上がった状態では金属の蒸発温度は下がるため、容易に蒸発が可能となります。
そして、蒸着した基材を巻取ロールに巻取ります。

マシン・テクノロジーの蒸着技術

蒸着機のイメージ

蒸着機のイメージ

マシン・テクノロジーは、巻取式蒸着の様々なノウハウを有しています。

(1)マルチ蒸発源対応。3ソースも対応可。
(2)パターン印刷対応可。
(3)サーマルダメージ軽減技術。

1. マルチ蒸発源

蒸着機のイメージ

2. パターン印刷工法

パターン印刷機1イメージ

フィルム貼付装置

エキスパンダーロールイメージ
フィルム貼付装置イメージ

スイングロールイメージ

巻取式蒸着の未来

巻取式蒸着の未来は、フィルム基材の薄膜化、蒸着パターンの複雑化、蒸着金属の多様化など、新材料開発に向けて難易度が高くなる方向です。
また、生産性の面でも、高速化や段取り時間の短縮化は必須項目となります。
マシン・テクノロジーは、常にお客様のご要望をお聞きするとともに、様々な材料に対応できる蒸着技術、工法を研究開発して参ります。


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