真空装置

実験用小型装置から量産用大型装置まで

量産型フィルム蒸着機

電子ビーム蒸着R to Rシリーズ(巻取式フィルム蒸着機)

量産型フィルム蒸着機(R to Rシリーズ)

R to Rシリーズ動画

電子ビーム蒸着機MSOシリーズ(巻取式フィルム蒸着機)

量産型フィルム蒸着機(タンクOPEN状態)

タンクOPEN状態

量産型フィルム蒸着機(タンクCLOSE状態)

タンクCLOSE状態

タンク内電子ビーム蒸発源

タンク内電子ビーム蒸発源

フィルム原反巻取装置

フィルム原反巻取装置

量産型プラスチックフィルムの巻取式蒸着です。
電子ビーム蒸発源を搭載し、様々な金属を蒸着することが可能です。
真空ポンプシステムは、排気スタートから蒸着できる高真空まで数分で達します。

独自の蒸着技術を採用しています。
薄膜のプラスチックフィルムの蒸着を可能とするため、電圧印加工法、電子ビーム照射などのシワ対策がしてあり、蒸着速度の高速化を実現しました。

また、蒸着フィルムの一部に非蒸着部を形成するため、オイルマスキング装置を搭載しています。
オプションで非蒸着で任意パターンの連続蒸着を可能とする、パターン印刷装置の搭載も可能です。

小型フィルム蒸着機

電子ビーム蒸着機EBWCシリーズ

量産型フィルム蒸着機(タンクCLOSE状態)

EBWCシリーズ外観

巻取装置

巻取装置

真空ポンプシステム

真空ポンプシステム

小型巻取式電子ビーム蒸着機 EBWCシリーズ。
基材としてプラスチックフィルム、金属箔などに蒸着が可能です。
材料ロールの最大径150mm 基材幅130mm。

用途として、電解コンデンサ電極、フィルムコンデンサ電極形成、2次電池電極形成、各種バリアフィルム制作、工学薄膜形成、シールド薄膜形成などが可能です。

非蒸着部の形成装置を搭載しており、直線マージン、あるいは任意パターンの形成などが可能です。

EBWCシリーズPR動画

超高温熱処理炉

本体外観

本体外観

チャンバーOPEN

チャンバーOPEN

高融点金属溶解/アニール用 超高温熱処理炉です。
主に研究用として開発しました。
タングステン、タンタル等の高融点金属を電子ビーム照射で、融解、アニールする装置です。
合金、精製のサンプル制作に適しています。

R to R プラズマCVD装置

R to R プラズマCVD装置

R to R プラズマCVD装置テキスト

新規蒸着機の制作について

新規蒸着機の制作についてテキスト


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